Part of the AMN book series, this book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then gives a detailed overview of their implementation in capacitive, piezoelectric, thermal and organic devices, complemented by chapters addressing the packaging of the devices and their stability. The last part of the book is devoted to the cutting-edge applications of resonant MEMS such as inertial, chemical and biosensors, fluid properties sensors, timing devices and energy harvesting systems.
Maksa helposti kortilla, Klarnalla, Apple Paylla tai Google Paylla. Etkö ole tyytyväinen? Sinulla on aina 14 päivän palautusoikeus. Lue lisää ehdoistamme. Jos sinulla on kysyttävää, lähetä meille sähköpostia osoitteeseen hello@memmo.org.
Memmo tekee opiskelusta helpompaa – missä päin maailmaa ikinä oletkin. Meillä yhdistät kurssikirjat ja fiksut opiskelutyökalut yhteen paikkaan: tiivistelmät, visat, podcastit ja muistikortit. Ja sitten Ted, opiskelukaverisi, joka vastaa kaikkeen, mitä ikinä mietitkin. Yli 50 000 opiskelijaa opiskelee jo täällä – rakennettu auttamaan sinua oppimaan nopeammin ja stressaamaan vähemmän.