Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Autor: Wolfgang Menz, Jürgen Mohr, Oliver Paul
Verlag: Wiley
Ausgabe: 3
Erscheinungsdatum: 2012
ISBN: 9783527305360

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Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.

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